1 潔凈室clean room

空氣懸浮粒子濃度受控的房間.它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入,產(chǎn)生及滯留粒子.室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度,濕度,壓力等按要求進(jìn)行控制.

2 潔凈區(qū) clean zone

空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間.它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入,產(chǎn)生及滯留粒子.空間內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度,濕度,壓力等按要求進(jìn)行控制.潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式.

3 移動(dòng)式潔凈小室 clean booth

可整體移動(dòng)位置的小型潔凈室.有剛性或薄膜圍檔兩類.

4 人身凈化用室 room for cleaning human body

人員在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間.

5 物料凈化用室 room for cleaning material

物料在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間.

6 粒徑 partical size

由給定的粒子尺寸測定儀響應(yīng)當(dāng)量于被測粒子等效的球體直徑.對(duì)離散粒子計(jì)數(shù),光散射儀器采用當(dāng)量光學(xué)直徑.

7 懸浮粒子 airborne particles

用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1～5μm的固體和液體粒子.

8 超微粒子 ultrafine particle

具有當(dāng)量直徑小于0.1μm的粒子.

9 微粒子 macroparticle

具有當(dāng)量直徑大于5μm的粒子.

10 粒徑分布 particle size distribution

粒子粒徑頻率分布和累積分布,是粒徑的函數(shù).

11 含塵濃度 particle concentration

單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù).

12 潔凈度 cleanliness

以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度.

13 氣流流型 air pattern

對(duì)室內(nèi)空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布進(jìn)行合理設(shè)計(jì).

14 單向流 unidirectional airflow

沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流.

15 垂直單向流 vertical unidirectional airflow

與水平面垂直的單向流.

16 水平單向流 horizontal unidirectional airflow

與水平面平行的單向流.

17 非單向流 non-unidirectional airflow

凡不符合單向流定義的氣流.

18 混合流 mixed airflow

單向流和非單向流組合的氣流.

19 潔凈工作區(qū) clean working area

指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8～1.5m(除工藝特殊要求外)的區(qū)域.

20 空氣吹淋室 air shower

利用高速潔凈氣流吹落并清除進(jìn)入潔凈室人員表面附著粒子的小室.

21 氣閘室air lock

設(shè)置在潔凈室出入口,阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間.

22 傳遞窗 pass box

在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的開口.兩側(cè)裝有不能同時(shí)開啟的窗扇.

23 潔凈工作臺(tái) clean bench

能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺(tái).

24 潔凈工作服 clean working garment

為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝.

25 空態(tài) as-built

設(shè)施已經(jīng)建成,所有動(dòng)力接通并運(yùn)行,但無生產(chǎn)設(shè)備,材料及人員.

26 靜態(tài) at-rest

設(shè)施已經(jīng)建成,生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝,并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運(yùn)行,但無生產(chǎn)人員.

27 動(dòng)態(tài) operational

設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運(yùn)行,有規(guī)定的人員在場,并在商定的狀況下進(jìn)行工作.

28 檢漏試驗(yàn) leakage test

檢查空氣過濾器及其與安裝框架連接部位等的密封性試驗(yàn).

29 高效空氣過濾器 HEPA(high efficiency particulate airfilter)

在額定風(fēng)量下,對(duì)粒徑大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及氣流阻力在250Pa以下的空氣過濾器.

30 超高效空氣過濾器 ULPA(ultra low penetration airfilter)

在額定風(fēng)量下,對(duì)粒徑0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力在280Pa以下的空氣過濾器.

31 純水 purity water

對(duì)電解質(zhì)雜質(zhì)含量(常以電阻率表征)和非電解質(zhì)雜質(zhì)(如微粒,有機(jī)物,細(xì)菌和溶解氣體等)含量均有要求的水.

32 防靜電環(huán)境 ESD controlled environment

能防止靜電危害的特定環(huán)境,在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電,靜電產(chǎn)生后易于消散或消除,靜電噪聲難以傳播

33 表面電阻 surface resistance

在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商.

34 體積電阻 volume resistance

在材料的相對(duì)兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商.該電流不包括沿材料表面的電流.

35 表面電阻率 surface resistivity

在材料表面層的直流電場強(qiáng)度與穩(wěn)態(tài)電流線密度之商.其量綱為Ω/□.

36 體積電阻率 volume resistivity

在材料內(nèi)層的直流電場強(qiáng)度與穩(wěn)態(tài)電流密度之商.其量綱為Ω?cm.

37 專用消防口 fire-firing access

消防人員為滅火而進(jìn)入建筑物的專用入口,平時(shí)封閉,使用時(shí)由消防人員從室外打開.

38 自凈時(shí)間 cleanliness vecoverly characteristic

潔凈室被污染后,凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運(yùn)行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級(jí)的時(shí)間.

39 生物潔凈室 biological cleanroom

潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規(guī)定值內(nèi)的限定空間.

40 浮游菌 airborne viable particles

潔凈室懸浮在空氣中的菌落.

41 沉降菌 colony forming unit

潔凈室降落在培養(yǎng)皿上的菌落.